常溫下，硅單晶在純HF中的腐蝕速度很小，但復(fù)在純HF中加一滴HNO3，腐蝕速度會(huì)大大增加。我做硅料酸洗的，我們的酸就制是HNO3和HF的混合酸。在這個(gè)過(guò)程中，參與反應(yīng)的不是硅本身，而是硅表百面的金屬雜質(zhì)。涉及到電化學(xué)腐蝕的知識(shí)度。通常用的非擇優(yōu)腐蝕劑的配方為:HF(40-42%):HNO3(65%)=1:2.5它們的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程為:Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO2+4H2O。
